超純水設備系統技術指標包括，進水指標，產水指標，各級系統的進出水指標等，無論系統采用何種工藝，都要滿足以下進水條件要求。一般系統進水要求電導率要小于≤500μs/cm，石英砂過濾器、活性炭過濾、超濾、疊片過濾器的產水濁度要小于3NTU，一級反滲透的產水電導率小于 ≤10μs/cm，二級反滲透的產水電導率小于≤5μs/cm，EDI產水電阻率大于≥16MΩ·cm，拋光混床電阻率大于≥18MΩ·cm,。對于有顆粒要求，或者有其他指標要求，就要相應的增加其他設備，以實現目標要求。

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